半导体晶圆厂AMC采样解决方案

引言

半导体是在晶圆制造工厂（简称“晶圆厂”）完成的。在制造半导体和清洁晶圆的过程中，会使用多种化学物质从而造成环境中的多种有害化学物质的存在而影响晶圆的产品质量。这些物质包括酸(MA)、碱(MB)、金属微粒、有机化合物(MC 和VOCs)，以及基于磷、砷和硼化合物的分子掺杂物（MD)。

针对这些环境中的颗粒物和化合物, SKC 提供主动式和被动式采样解决方案。SKC 主动式采样器包括空气采样泵和配套的采集介质来主动收集空气中的有害气体、蒸气和微粒；被动式采样器则采用扩散方式收集空气中的有害气体和蒸气，无需使用空气采样泵。

SKC 采集解决方案

自SKC在1973年推出第一支商业化的吸附采样管，50多年来, SKC 一直引领行业内高性能采样设备和采样材质的研究、设计和制造生产，助力环境危害物检测和健康与安全专业人员的职业卫生评价。

基于半导体行业(SEMI)标准方法，SKC 提供晶圆厂AMC采集解决方案，包括高性能的采样泵、主动式和无泵式采样器、热脱附管，吸附管和采集滤盒/滤膜，液体采集瓶（PFA, PP材质），等从而保证采样后测试结果的有效性和溯源性。全球半导体行业内，SKC在的AMC 采集方案已经成为行业金标准。

SKC 空气采样泵 AirChek 系列

●流量范围：5-5000ml/min

●自动补偿温度、大气压波动带来的流量偏差

●高背压补偿功能

●触控操作，直观易用

●锂电池供电，支持长时间采样（ACC 型可达40小时）

●运行超静音，平均噪音51.7dB

●机身小巧，仅重550g

●设计符合ISO 13137

SKC 空气采样泵 PockPump TOUCH

●流量范围：20-500ml/min

●自动补偿温度、大气压波动带来的流量偏差

●低功耗蓝牙（BLE) 通讯（计算机，和手机APP)

●触控操作，直观易用

●锂电池供电（时长可达20小时），磁吸式充电接

●运行超静音，抗摔减震

●机身小巧，仅重235g

●设计符合ISO 13137

SKC 高性能的热脱附管：

●低污染背景值

●高热稳定性

●具备足够的吸附强度以保留目标组分，在受热时能快速释放

●适合 ppb级及痕量采样

SKC优质的吸附材料，如下：

关于环氧乙烷的无泵采样说明