半导体行业中AMC气态污染物的采样浅谈

在半导体晶圆制造工艺中，气态分子污染物（AMC）作为影响晶圆良率的关键因素，其痕量浓度的精准监测是超净生产环境管控的核心环节。AMC涵盖酸性气体、碱性气体、挥发性有机化合物（VOCs）及分子掺杂剂等多类污染物，这类物质即使在ppt级浓度下，也可能引发晶圆缺陷、设备腐蚀等问题，因此对其监测采样的精准度、稳定性和低本底要求极为严苛。

SKC凭借深耕采样领域50余年的技术积累，以高性能采样泵与专用吸收管为核心的采样解决方案，完美适配半导体行业AMC气态污染物的监测需求，在半导体行业被长期验证，已经成为AMC采样的标准方案。

针对半导体AMC中酸性、碱性气体的监测采样，SKC的AirChek 系列可编程恒流采样泵搭配PFA液体取样瓶、防倒吸瓶及专用吸收管的组合方案在半导体行业内成为采样金标准。该采样泵流量范围覆盖5-5000ml/min，可实现40小时以上连续稳定工作（Aircheck Connect），满足AMC长时间连续采样的需求，其小巧的体积也适配晶圆厂曝光机EFU上下游等关键工艺点位的现场采样。PFA材质取样瓶与专用吸收管具备优异的化学惰性，极低的本底背景值有效避免了采样过程中的二次污染，精准捕获盐酸、氢氟酸、氨、各类胺类等痕量酸碱AMC。

对于AMC中C<30的VOCs类污染物，SKC推出PP TOUCH1000可编程恒流采样泵结合TenaxGR/Anasorb GCB1吸附管的专属方案，采样泵20-500ml/min的精准恒流设计，可高效收集晶圆厂工艺中产生的甲醇、二甲苯、六氯乙烷等VOCs污染物。针对不同类型VOCs，SKC还提供226系列专用吸附管，如监测甲醇选用226-82吸附管、监测二甲苯选用226-01吸附管，部分污染物可通过双管串联或并排双气流的采样方式，进一步提升收集效率。

同时，SKC被动式采样方案中的无泵式采样器系列，可在无泵情况下实现有机蒸气类AMC的扩散式采样，为晶圆厂非连续采样、多点位布控提供了灵活选择。

在半导体AMC监测的实际应用中，SKC采样泵与吸收管的组合方案可全面覆盖晶圆厂洁净室、关键工艺设备周边、废气排放口等多场景的AMC采样需求，无论是酸性的氯化氢、硝酸，碱性的氨、二乙胺，还是VOCs及砷烷、磷化氢等分子掺杂剂类AMC，均有对应的标准化采样配置。所有采样介质与设备均遵循行业标准研发制造，采样数据可直接对接后续的气相色谱、质谱等分析设备，为AMC浓度检测、污染源追溯、工艺环境优化提供精准可靠的样品基础。

作为半导体行业采样领域的金标准，SKC以采样泵的稳定性能、冲击瓶和缓冲瓶无任何潜在污染物的释放以及专业热吸附管的低本底特性和全系列标准化的采样方案，解决了半导体AMC痕量污染物采样的技术难点，为晶圆制造行业的AMC管控、产品良率提升提供了专业的采样支撑，成为半导体气态分子污染物监测采样的重要技术保障。

SKC相关主要产品：

AirCheck Connect便携式采样泵

AirChek Connect型便携式采样泵是可通过蓝牙连接手机和电脑的低噪声采样泵。大尺寸触摸屏，易于使用，适用于灰尘采样和蒸汽采样。